“微電子與納米材料及特性材料測(cè)量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究” 是 “十五”國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)“重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究專(zhuān)項(xiàng)”之一，該課題的主要目的是為納米技術(shù)等領(lǐng)域的發(fā)展建立測(cè)量?jī)x器與方法的標(biāo)準(zhǔn)化體系。通過(guò)研究使我國(guó)納米計(jì)量得到突破性的發(fā)展，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，促進(jìn)和增強(qiáng)我國(guó)納米量值傳遞體系的發(fā)展和建立；形成一些有別于國(guó)外現(xiàn)有技術(shù)專(zhuān)利的釹鐵硼永磁材料結(jié)構(gòu)和性能的評(píng)價(jià)體系。 在中國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)成立大會(huì)上，與會(huì)專(zhuān)家一致認(rèn)為納米量值標(biāo)準(zhǔn)與溯源是我國(guó)納米技術(shù)發(fā)展亟待解決的問(wèn)題，并在委員會(huì)下成立了納米尺度的測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)化工作組，著手進(jìn)行相關(guān)的納米尺度測(cè)量?jī)x器與方法的標(biāo)準(zhǔn)制定工作。課題所建立的“2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測(cè)量系統(tǒng)”目前只有美、德兩個(gè)國(guó)家在進(jìn)行研制，該系統(tǒng)的建立填補(bǔ)了我國(guó)在大范圍納米測(cè)量?jī)x器上的空白，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。能夠作為我國(guó)納米量值傳遞體系的重要技術(shù)設(shè)備和溯源基準(zhǔn)，為“重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究”專(zhuān)項(xiàng)中涉及到納米技術(shù)、信息技術(shù)、材料技術(shù)和先進(jìn)制造等領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的制定實(shí)施提供有效的技術(shù)支撐和驗(yàn)證手段?？梢詫?duì)納米技術(shù)領(lǐng)域的計(jì)量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)、對(duì)納米傳遞標(biāo)準(zhǔn)提供鑒定測(cè)試服務(wù)，對(duì)部分產(chǎn)品可進(jìn)行直接測(cè)量，保證納米幾何量量值溯源與統(tǒng)一，有利于促進(jìn)相關(guān)高新技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。滿(mǎn)足了國(guó)際關(guān)鍵量比對(duì)的需求，實(shí)現(xiàn)我國(guó)納米技術(shù)領(lǐng)域檢測(cè)數(shù)據(jù)的國(guó)際互認(rèn)，增強(qiáng)我國(guó)高新技術(shù)領(lǐng)域產(chǎn)品和技術(shù)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。 課題所建立的釹鐵硼原料、粉體中間體和成品中總氧量及不同狀態(tài)氧的分別定量方法和釹鐵硼粉體粒度大小分布的定量測(cè)定方法，為建立釹鐵硼材料中氧及其形態(tài)分析方法的標(biāo)準(zhǔn)方法提供了技術(shù)基礎(chǔ)。所形成的釹鐵硼分析測(cè)試方法體系現(xiàn)已轉(zhuǎn)化為中國(guó)金屬學(xué)會(huì)推薦方法。