3月28日，由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)計(jì)量院”）承擔(dān)的國(guó)家科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和物質(zhì)研究”項(xiàng)目課題“用于計(jì)量的微納集成器件關(guān)鍵技術(shù)研究”順利通過(guò)由國(guó)家質(zhì)檢總局組織的專家組驗(yàn)收。

    課題驗(yàn)收會(huì)上，清華大學(xué)金國(guó)藩院士、北京航空航天大學(xué)姚駿恩院士等技術(shù)專家組成員聽取了課題組的報(bào)告，審閱了驗(yàn)收材料，經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)為課題組成功實(shí)現(xiàn)了“單個(gè)量子化霍爾器件”、“量子化霍爾陣列器件”、“約瑟夫森結(jié)陣器件”以及“兩維電子氣量子阻抗器件”等多種微納量子器件和集成器件的自主研制。

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圖為“用于計(jì)量的微納集成器件關(guān)鍵技術(shù)研究”課題驗(yàn)收會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)

    據(jù)課題負(fù)責(zé)人，中國(guó)計(jì)量院研究員李勁勁介紹，以量子物理為基礎(chǔ)的新一代計(jì)量基準(zhǔn)正在逐步取代實(shí)物基準(zhǔn)成為各類量值溯源的源頭，而許多量子計(jì)量基準(zhǔn)的核心正是微納器件。但是截至目前，我國(guó)部分基標(biāo)準(zhǔn)所采用的高性能核心器件仍依賴于國(guó)外進(jìn)口。為了保證我國(guó)計(jì)量體系的獨(dú)立性、建立我國(guó)核心量子器件的自主制備能力，課題組針對(duì)國(guó)家計(jì)量基準(zhǔn)急需的微納器件及相關(guān)制造技術(shù)開展了深入研究。

    經(jīng)過(guò)4年攻關(guān)，課題組成功建立了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多種微納器件研發(fā)能力：研制出可替代國(guó)外器件、用于量子化霍爾國(guó)家電阻基準(zhǔn)的單個(gè)量子化霍爾器件；在國(guó)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)了可以產(chǎn)生1 kΩ和10 kΩ整數(shù)電阻值的量子化霍爾陣列器件，使我國(guó)成為國(guó)際上少數(shù)掌握該技術(shù)的國(guó)家之一；研制的約瑟夫森結(jié)陣器件輸出量子化電壓平臺(tái)平坦度可以滿足量子電壓基準(zhǔn)要求；在二維電子氣量子阻抗器件制造以及石墨烯納米薄膜制備技術(shù)等方面也取得了多項(xiàng)突破，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，為未來(lái)其它計(jì)量基準(zhǔn)所需的微納器件自主研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。