863計(jì)劃新材料領(lǐng)域“藍(lán)綠色垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器”課題近日取得重大突破，在我國(guó)（除臺(tái)灣地區(qū)外）首次實(shí)現(xiàn)了室溫光泵條件下氮化物面發(fā)射激光器（VCSEL）的受激發(fā)射，所得器件重要性能指標(biāo)超過(guò)了國(guó)際報(bào)道的最好水平。這標(biāo)志著我國(guó)氮化物面發(fā)射激光器研究已進(jìn)入世界先進(jìn)行列。
      該成果由廈門(mén)大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所和廈門(mén)三安電子有限公司組成的合作研究團(tuán)隊(duì)，經(jīng)過(guò)將近一年的艱苦研發(fā)，攻克高質(zhì)量增益區(qū)材料的生長(zhǎng)、高反射介質(zhì)膜分布布拉格反射鏡的制作和藍(lán)寶石襯底剝離等關(guān)鍵技術(shù)難題后得以實(shí)現(xiàn)。所使用的增益區(qū)是研究團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)的由納米級(jí)尺寸氮化物量子阱材料構(gòu)成的新型特殊結(jié)構(gòu)，利用該結(jié)構(gòu)容易獲得光場(chǎng)波峰與增益區(qū)峰值高的匹配因子，使激射閾值降低了一個(gè)量級(jí)。激光剝離后氮化物材料的表面平整度小于幾個(gè)納米，可以直接沉積反射鏡，免除了減薄拋光工藝，簡(jiǎn)化了制作過(guò)程。該研究得到激射峰值波長(zhǎng)449.5納米，激射閾值6.5毫焦/平方厘米，半高寬小于0.1納米。以上結(jié)果在國(guó)際上處于前沿先進(jìn)水平。
      氮化物面發(fā)射激光器在激光顯示、激光照明、激光高密度存儲(chǔ)、激光打印，水下通信等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。該成果為進(jìn)一步研制實(shí)用化氮化物面發(fā)射激光器奠定了重要的基礎(chǔ)。