日本產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所5日發(fā)布新聞公報說,該所科研小組采用新技術隨心所欲地控制單層碳納米管的形狀,并成功在基板上集成了1000多個具有復雜立體形狀的碳納米管元件。
碳納米管的直徑通常為幾納米到幾十納米,管壁厚度僅有幾納米。碳納米管的韌性高,導電性強,兼具金屬和半導體的特性,是超微元件的理想材料。但是,生成任意形狀的碳納米管并對其進行加工一直是個難題。
在這家研究所的實驗中,研究人員先是借助“Super-Growth化學氣相生成法”等技術制作出碳納米管晶片,然后在碳納米管晶片表面涂上抗蝕劑,然后經(jīng)過曝光、顯像等多道工序,最終可將碳納米管加工成任意形狀。
研究論文已于5日發(fā)表在《自然?納米技術》雜志的網(wǎng)絡版上。
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