863計(jì)劃先進(jìn)制造與自動(dòng)化領(lǐng)域支持的“面向MEMS加工的精密定位技術(shù)的研究”進(jìn)展順利，已經(jīng)完成了二自由度笛卡爾坐標(biāo)高速高精度定位系統(tǒng)研制工作。
　　本課題在研究過(guò)程中，發(fā)展了一種由直線音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的2自由度笛卡爾坐標(biāo)型用于IC芯片封裝的高速高精度定位裝置。其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)采用直線音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)X、Y工作臺(tái)，省去了傳動(dòng)環(huán)節(jié)，而且音圈電機(jī)具有無(wú)滯后、高響應(yīng)、高速度及高加速度、控制方便等特點(diǎn)，有效地提高了該定位裝置的性能。通過(guò)采用無(wú)間隙新型解耦結(jié)構(gòu)，不僅使機(jī)構(gòu)具有傳統(tǒng)XY工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)學(xué)解耦的特點(diǎn)，而且可將驅(qū)動(dòng)部件置于底座上，降低了機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)慣量。采用直線光柵作為末端位置反饋，可以較好地保證系統(tǒng)的高速高精度。
　　本研究成果除用于面向MEMS微連接和組裝裝備的開(kāi)發(fā)外，相關(guān)的單元技術(shù)在其它領(lǐng)域中，如IC封裝、精密電子設(shè)備裝配流水線、生物芯片制備、大范圍高速掃描裝置中均有廣泛的應(yīng)用前景。面向不同的應(yīng)用領(lǐng)域，通過(guò)單元技術(shù)集成，可開(kāi)發(fā)出不同的應(yīng)用系統(tǒng)。