日本電子株式會(huì)社推出最新場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 (2006-04-29)
發(fā)布時(shí)間:2007-12-04
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來源:儀器信息網(wǎng)
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2006年4月17日,JEOL Ltd.總裁Yoshiyasu Harada宣布,日本電子在全世界同步推出最新型號(hào)的300kV場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡??JEM-3100F。
JEM-3100F分辨率達(dá)到0.17nm(300kV,UHR),是同檔次世界上最先進(jìn)的透射電子顯微鏡,尤其在納米材料測(cè)試方面,具有非常高的效能。它的控制系統(tǒng)采用了最新的數(shù)字技術(shù),使得操作更為簡便。該款產(chǎn)品同樣適合于過程測(cè)試,可以對(duì)由聚焦離子束切割的相對(duì)較厚的半導(dǎo)體器件進(jìn)行高通量檢測(cè)。