上海光機(jī)所周常河課題組日前經(jīng)過長期的探索、積累，在干法深刻蝕高密度石英光柵與達(dá)曼光柵飛秒測量技術(shù)研究中取得進(jìn)展。 石英光柵的精密加工需要通過干法刻蝕技術(shù)解決，其中采用高密度等離子刻蝕（ICP）技術(shù)對石英高密度光柵進(jìn)行精密刻蝕是一種先進(jìn)的干法刻蝕技術(shù)，但其同時也往往伴隨聚合物生長的問題。 國際學(xué)術(shù)界目前對石英光柵采用ICP刻蝕工藝條件的報道不多。該所周常河課題組對石英的優(yōu)化刻蝕工藝技術(shù)取得重要進(jìn)展，光柵表面最深刻蝕4微米，沒有明顯的聚合物。其近期在美國光學(xué)學(xué)會Applied Optics發(fā)表的論文報道了石英光柵干法刻蝕的優(yōu)化刻蝕條件，包括刻蝕氣體的滯留時間優(yōu)化控制問題與避免聚合物生長的不同氣體優(yōu)化配比問題，但對精確優(yōu)化條件的確定還有待于進(jìn)一步探索。采用干法刻蝕技術(shù)，該課題組目前已經(jīng)加工出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的深刻蝕高密度石英光柵，正在進(jìn)行深入研究，加工出一系列的微光學(xué)元件，可以應(yīng)用于光纖波分復(fù)用技術(shù)、高強(qiáng)激光、光纖光柵位相板、偏振光學(xué)元件等諸多領(lǐng)域。本項目得到國家杰出青年基金和上海市光科技行動計劃的資助。 同時，該課題組在研究飛秒測量儀器問題時，把達(dá)曼光柵作為研究的核心，提出了具有原創(chuàng)性的三個反射達(dá)曼光柵飛秒測量結(jié)構(gòu)。利用達(dá)曼光柵進(jìn)行激光分束，避免了使用傳統(tǒng)半透半反分束鏡，利用光柵對消除角色散，有效實現(xiàn)了對飛秒脈沖的測量。由于其結(jié)構(gòu)簡單，成本低，對飛秒測量具有重要的意義，該成果已申請發(fā)明專利，實驗結(jié)果在美國光學(xué)學(xué)會電子刊物Optics Express上發(fā)表。該項目得到了國家杰出青年基金和中科院儀器研制項目的資助。周常河課題組已經(jīng)為相關(guān)課題的多種飛秒激光器進(jìn)行了測量，并準(zhǔn)備對更短、更復(fù)雜的飛秒脈沖開展測量工作，為發(fā)展我國的先進(jìn)飛秒測量技術(shù)做出貢獻(xiàn)。